砷化镓(GaAs)半导体激光器
砷化镓(GaAs)半导体激光器
在上一篇介绍半导体激光器的文章中提到:电注入式半导体激光器,一般是由砷化镓(GaAs)、硫化镉(CdS)、磷化铟(InP)、硫化锌(ZnS)等材料制成关键结构。
砷化镓(GaAs)是Ⅲ‑Ⅴ 族化合物半导体,它的禁带宽度是1.42eV。它的电子迁移率很高,可达 8500 cm²/(V・s),它的高频性能很强,所以除了用来制造激光器,它也可以做微波器件中的射频功放芯片。
砷化镓(GaAs)激光器的发射波段范围在780~980 nm,属于近红外线,最常用的标准波长是850 nm、940 nm。人眼可见的波长范围是380 nm~760 nm,所以亿万28 看不见它发出的光。由于 850nm 的光在光纤中损耗很高,所以它只适合短距离传输。
为什么它在光纤中损耗很高呢?这是因为光纤是由SiO₂制备而成。其内部充满了纳米级的密度起伏,这种折射率微小波动会造成瑞利散射,损耗α:

可以看到损耗和入射光的波长的四次方成反比,波长越短,瑞利散射的损耗越严重。所以它只适用于室内短距离多模光纤传输。
砷化镓激光器使用金属有机化学气相沉积MOCVD的方法来制作外延层。这种工艺在1968 年,由美国洛克希德实验室首次发明并验证,后面经过几十年的发展已经非常成熟。我国也有多家企业可以生产砷化镓(GaAs)4/6 英寸的单晶衬底,比如北京的中科晶电信息材料,云南锗业的鑫耀半导体,有研新材等。
以 GaAs 单晶当作衬底的半导体激光器由于其工艺非常成熟,难度不大,其应用非常广泛:
一、光通信领域
1. 850 nm 多模光纤通信激光器
局域网、机房交换机、服务器光模块。数据中心最常用光源。
2. 980nm 泵浦激光器
980 nm GaAs 基激光器,当作掺铒光纤放大器 (EDFA) 的泵浦源。
二、民用产品
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650 nm 红光激光笔、红光指示激光器
所有普通红色激光笔衬底全都是 GaAs。
2. 扫码枪、红外扫码模块
780nm 红外激光二极管,超市扫码器、一维二维激 光扫描头。
3. 光驱、老式 DVD‑ROM 读取激光头(780nm)
这种设备现在比较少见了,发烧友的家中应该有留存。
三、传感、检测仪器
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红外测温传感器(905 nm)
额温枪、工业中非接触测温探头。
2. 气体检测
甲烷、一氧化碳等气体的红外吸收式检测仪。
3. 激光测距传感器
905 nm 最为普遍,扫地机器人测距。
四、车载传感器与激光雷达
1. VCSEL 垂直腔面发射激光器(衬底为 GaAs)
自动驾驶辅助的 Flash‑LiDAR、车内驾驶员状态监 测、座舱人脸识别、车 窗雨感传感器,现在很多车载夜视红外光源采用 850 nm VCSEL。
五、工业加工、工业设备光源
1. 固体激光器泵浦源(808nm)
532nm 绿光激光笔,内部就是用 808nm AlGaAs激光器去泵浦晶体;
大功率工业固体激光器、Nd:YAG 泵浦光源主要就是用 808 nm GaAs 激光 器。
2. 激光打印、复印机的感光鼓曝光光源
3. 激光焊接、塑料熔接、红外加热定型光源
六、医疗设备
1. 家用和医美机构用的 808nm 半导体激光脱毛仪
2. 红外理疗仪、激光针灸
3. 眼科、牙科仪器

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